無油渦旋真空泵的維護標準是以抽潔凈氣體為基礎制定的，抽水汽標準不同。
因此要注意下述各點：
①．抽水蒸汽泵的維護時間間隔必須縮短，因為水汽的溫度、抽除量、抽除頻率和水汽中物質成份對泵的工作都有影響。
②.抽水蒸汽時，要在規定溫度下工作，進氣溫度必須低于50℃。當被抽氣體溫度高于50℃時，應當在無油渦旋真空泵與真空室之間的連接管路上安裝冷卻器或冷阱，以降低進氣溫度，使之低于50。進氣溫度高于50℃會對無油渦旋真空泵造成損害。
③．抽水汽時要加氣鎮閥，無油渦旋真空泵抽水蒸汽會導致水汽在泵內凝結。凝結的水汽會引起泵極限真空度降低，或者對泵造成損害。氣鎮閥不僅能抽水汽，還能維持極限真空。
氣鎮閥的使用注意事項
所謂氣鎮閥及其作用概念非常簡單，就是在容積式真空泵的壓縮室上開一小孔，裝上一個調節閥。打開此調節閥啟動無油渦旋真空泵，當動渦旋盤轉動某一位置時，空氣就通過小孔摻人壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分水蒸氣不至于凝結，和摻入的氣體一起被排出泵外。這樣就達到了抽水蒸汽的目的。而這個調節閥就是氣鎮閥。氣鎮閥的使用注意事項包括：
（1）抽水汽時，必須開啟氣鎮閥抽氣。如果氣鎮閥關閉抽氣，水汽會在泵內積結，對泵造成損害。
（2）抽水汽后，必須在開啟氣鎮閥狀態下再抽氣超過l小時，如果抽水汽后立即關閉氣鎮閥，水汽會在泵內積結，對泵造成損害。
（3）當給氣鎮閥口充氮氣或干燥大氣時，要將壓力控制在大氣壓內，流量小于lONL/min,氣壓高會對泵造成損害。
（4）當被抽真空室內濕度高于60％時，—定要開啟氣鎮閥。
（5）一定要在泵開啟前、關閉后，開啟和關閉氣鎮閥，千萬不能在泵工作過程中關閉氣鎮閥。泵工作時改變氣鎮閥工作狀態(開啟或關閉)會使泵損壞，造成人身傷害。
抽水汽時，泵的啟動步驟包括：
（1）關閉截止閥(以免開關泵時泵中積存的碎屑會被抽回真空室中(帶漏氣閥時要開啟漏氣閥))；
（2）打開氣鎮閥(拆下絲堵，換上氣體過濾器即可)；
（3）打開泵開關；
（4）開啟截止閥(檢查確認真空泵已開啟，使用漏氣閥時要關閉漏氣閥，抽真空室)。
抽水汽時，停泵步驟包括：
（1）關閉截止閥(避免泵中積存的碎屑被抽回真空室；
（2）關閉泵開關；
（3）關閉氣鎮閥(結束氣鎮閥工作時，拆下氣體過濾器，用扳手輕輕擰上絲堵)。
檢查與維護注意事項
（1）無油渦旋真空泵為防止碎屑在泵中沉積，每天抽大氣幾次，每次3～5秒。
（2）要注意高溫，在泵足夠冷卻后，再進行檢查與維護。停泵后立即維修可能引起燒傷。
（3）檢查與維護之前一定要切斷電源。否則可能引起電擊或被旋轉物傷害。
（4）如果安裝與工作條件差、工作環境溫度超過規定，請縮短維護間隔。環境溫度是泵失效的主要影響因。標準維護間隔是以環境溫度5～40℃，年平均溫度25℃為基礎制定的。
檢查與維護內容要點
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故障診斷與排除：幾年來用戶在無油渦旋真空泵的使用過程中，陸續發現了各種問題，也總結了問題解決的方法。歸納起來，不外乎下述各種。如果出現故障，可以參照下表排除之。如果自己不能解決問題，可以聯系賣泵的經銷商和生產單位。同時筆者歡迎用戶提出使用中的問題，以利于無油渦旋真空泵的進一步改進。
國內以半導體、電子工業為代表的制造工藝當中和科學研究與分析測試行業迫切需要無油污染的清潔真空環境，但是清潔真空獲得設備如冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等目前都沒有形成可*先進的批量國產產品。進口無油渦旋真空泵作為一種新產品，由于本文前述的價格、市場的開拓和用戶的認識程度等原因，沒有形成良性循環。這樣，一方面是迫切的市場需求，另一方面從價格與技術雙方面看沒有合適的產品，造成了極大的市場缺口。
無疑問價格適中、性能可*的無油渦旋真空泵將成為適合中國市場要求產品的主流,大力發展渦旋無油真空泵勢在必行。研制符合中國市場要求的渦旋類及其它無油真空泵系列產品及其檢測技術手段也成為中國真空獲得行業進一步發展的一個契機。
無油渦旋真空泵故障診斷表
為解決我國科學研究和新材料、半導體等行業發展面臨的技術手段存在的基礎、共性問題，近年來已經不斷有業內專家向國內介紹渦旋無油真空泵技術及其發展現狀，國外渦旋無油真空泵生產廠家與代理對中國市場的開發使其在中國市場的銷量在逐年增長。國內真空行業相關企業也開展了基礎、應用研究及小規模試制無油渦旋真空泵生產等不同階段的探索，只是由于技術基礎、激勵機制、研發手段、資金投入的限制，研發工作進展不是非?？臁．a品質量、穩定可靠性、以及技術推廣與市場開拓規劃、原則、手段等也是問題。因此無油渦旋真空泵系列產品下一步產業化技術研發與市場開發是企業必須解決的兩大問題。
隨著研發手段、資金投入、市場開拓問題的解決，無油渦旋真空泵將會打開市場，從而提高整個真空獲得行業的技術水平。成功的無油渦旋真空泵系列產品研發與市場開發模式也將為我國其他清潔真空獲得設備如冷凝泵、柱塞泵、爪式泵以及隔膜泵等提供有效的借鑒。